三氟化氮是一種有毒氣體,是半導體製程中必需的化學品,用以清潔基板製程腔體,並間接影響六氟化鎢等其他關鍵氣體的生產,對晶片製造不可或缺,這場火災恐衝擊全球半導體供應鏈,並進一步推升成本。(圖/資料照)
據外媒報導,關東電化位於群馬縣澀川市的一座三氟化氮工廠,7日發生爆炸並引發火災,造成1名員工不幸身亡、另1人受傷送醫。關東電化表示,澀川廠兩條生產線當中的1調部分受損,當局已勒令該廠暫停運作。
關東電化廠房發生火災對市場的衝擊在於,該公司為全球重要的三氟化氮供應商之一,其產量囊括日本市場九成,主要客戶包括台積電、三星電子、美光科技(Micron)、鎧俠(Kioxia)、Sony,以及日本新興晶片製造商Rapidus。
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